ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রক্রিয়া: ধাপ, ভ্যাকুয়াম স্তর, এবং চক্র নিয়ন্ত্রণ

প্রক্রিয়াটি আসলে কী নিয়ন্ত্রণ করে

হার্ডওয়্যারটি সরিয়ে ফেলুন এবং একটি ভ্যাকুয়াম আবরণ মেশিন প্রক্রিয়া একটি কাজ করে: এটি চেম্বার থেকে সমস্ত কিছু সরিয়ে দেয় যা আপনি সেখানে থাকতে বলেননি, তারপর একটি নির্বাচিত উপাদানকে নিয়ন্ত্রিত শক্তির অধীনে অংশ পৃষ্ঠে আসতে দেয়। আপনি যে ফিল্মটি পান তা তিনটি ভেরিয়েবলের ফলাফল - পটভূমিতে চাপ, সাবস্ট্রেটে আয়ন শক্তি এবং জমার হার এবং সময়। আর্গন ফ্লো থেকে জিগ ঘূর্ণন পর্যন্ত প্রতিটি অন্য সেটিং এই তিনটি টিউন করার একটি উপায় মাত্র।

যে কারণে দুটি দোকান "একই" পিভিডি রেসিপি চালাতে পারে এবং ভিন্ন ফলাফল দেখতে পারে। সাবস্ট্রেট হিটিং ছাড়াই 3 x 10⁻³ Pa তে রাখা একটি চেম্বার এখনও জল-বাষ্পের লোড বহন করে যা বন্ডিং সাইটগুলির জন্য আবরণের সাথে প্রতিযোগিতা করে। 4 x 10⁻⁴ Pa এ একই চেম্বার সঠিকভাবে বেক-আউট করার পরে একটি ভিন্ন মেশিনের মতো আচরণ করে। শুধুমাত্র চাপ সংখ্যা গুরুত্বপূর্ণ নয়; অবশিষ্ট গ্যাস লোড এবং জমা হারের মধ্যে অনুপাত হল।

ভ্যাকুয়াম প্রক্রিয়াটির লক্ষ্য নয়। এটি ফিল্টার যা ফিল্ম করার আগে অংশটি স্পর্শ করার অনুমতি দেয় তা নির্ধারণ করে।

দ Coating Cycle, Step by Step

মেশিনটি ক্যাথোডিক আর্ক, ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং বা তাপীয় বাষ্পীভবন ব্যবহার করুক না কেন বেশিরভাগ ব্যাচ চক্র একই ক্রম অনুসরণ করে। পার্থক্যগুলি চক্রের মাঝখানে বসে, প্রান্তে নয়।

1. প্রাক-পরিষ্কার এবং লোডিং। অতিস্বনক degreasing, rinsing, এবং শুকানোর তেল এবং মসৃণতা যৌগ অপসারণ. অংশগুলি তারপর জিগগুলিতে স্থির করা হয় যা ঘূর্ণনকেও সংজ্ঞায়িত করে — একটি ফিক্সচার যা প্লাজমা থেকে একটি পৃষ্ঠকে লুকিয়ে রাখে এটি আবরণ থেকেও লুকিয়ে রাখবে।
2. রুক্ষ এবং উচ্চ ভ্যাকুয়াম পাম্প-ডাউন. একটি ঘূর্ণমান ভেন বা শুষ্ক পাম্প বায়ুমণ্ডল থেকে চেম্বারকে মোটামুটি 1-10 Pa পর্যন্ত নিয়ে যায়, তারপর একটি শিকড়, প্রসারণ বা টার্বোমলিকুলার পাম্প এটিকে বেস চাপে নিয়ে যায়, সাধারণত 5 x 10⁻³ এবং 5 x 10⁻⁴ Pa এর মধ্যে।
3. গরম এবং আউটগ্যাসিং. শোষিত জল এবং উদ্বায়ী পদার্থগুলিকে তাড়িয়ে দেওয়ার জন্য চেম্বারের দেয়াল এবং স্তরগুলিকে প্রায়শই ফিল্মের উপর নির্ভর করে 150-400 °C তাপমাত্রায় উত্তপ্ত করা হয়। এই পর্যায়টি এড়িয়ে যাওয়া হল এক সপ্তাহ পরে আবরণ ফোস্কা পড়ার অন্যতম সাধারণ কারণ।
4. আয়ন বোমাবাজি (গ্লো স্রাব পরিষ্কার)। আর্গন ভর্তি করা হয় এবং কয়েক মিনিটের জন্য অংশগুলিতে কয়েকশ ভোল্টের একটি নেতিবাচক পক্ষপাত প্রয়োগ করা হয়। এটি অক্সাইড এবং দূষণের শেষ আণবিক স্তরকে দূরে সরিয়ে দেয় এবং একটি রাসায়নিকভাবে সক্রিয় পৃষ্ঠ ছেড়ে দেয়।
5. জবানবন্দি। দ source is energised — arc spots on a cathode, a magnetron target, or an evaporation boat — and material travels to the substrate. Reactive gases such as nitrogen, oxygen, or acetylene are added here when a nitride, oxide, or carbon-based film is required.
6. বেধ নিয়ন্ত্রণ। ফিল্মের পুরুত্ব সময়ের দ্বারা গুণিত হার দ্বারা সেট করা হয়, অপটিক্যাল আবরণে কোয়ার্টজ ক্রিস্টাল পর্যবেক্ষণ দ্বারা এবং আলংকারিক বা পরিধান ফিল্মগুলিতে ক্রমাঙ্কন দ্বারা নিশ্চিত করা হয়।
7. ভ্যাকুয়াম অধীনে শীতল. অংশগুলি প্রায় 80-100 ডিগ্রি সেলসিয়াসের নিচে না আসা পর্যন্ত ভ্যাকুয়ামে রাখা হয়। প্রথম দিকে ভেন্টিং তাজা ফিল্মকে অক্সিডাইজ করে এবং অ্যালুমিনিয়াম ধাতবকরণে এটি হলুদ হওয়ার ক্লাসিক কারণ।
8. ভেন্টিং, আনলোডিং এবং পরিদর্শন। শুকনো নাইট্রোজেন বা ফিল্টার করা বাতাস ভ্যাকুয়াম ভেঙে দেয়, অংশগুলি আনলোড করা হয় এবং ব্যাচটি রঙ, বেধ, আনুগত্য এবং পৃষ্ঠের ত্রুটিগুলির জন্য পরীক্ষা করা হয়।

ডিপোজিশন পদ্ধতি কীভাবে প্রক্রিয়া উইন্ডোকে পুনরায় আকার দেয়

দ middle of the cycle is where methods diverge, and that choice sets the practical limits on rate, uniformity, and defect risk.

একটি আলংকারিক লাইন অনুসরণ করে রঙের সামঞ্জস্যতা সাধারণত মাল্টি-আর্ক ডিপোজিশনে স্থির হয়, যখন একটি অপটিক্যাল ফিল্টার লাইন আর্ক ব্যবহার করতে পারে না, কারণ একটি একক ফোঁটা স্তর স্ট্যাককে ধ্বংস করে। প্রক্রিয়া নির্বাচন তাই গতি, পৃষ্ঠের গুণমান এবং ফিক্সচারের অংশগুলির জ্যামিতির মধ্যে একটি বাণিজ্য।

দ Numbers Worth Recording on Every Batch

প্রক্রিয়া প্রবাহ খুব কমই নাটকীয়। এটা creeps. একটি মেশিন যা প্রতি দৌড়ে একই আটটি মান লগ করে সাধারণত এক বা দুই সপ্তাহের পরিবর্তে এক বা দুই ব্যাচের মধ্যে একটি ত্রুটি খুঁজে পেতে পারে।

• আর্গন ভর্তির আগে বেস চাপ, প্লাস এটি পৌঁছাতে সময় লাগে
• জমা দেওয়ার সময় কাজের চাপ, আপনি যে সহনশীলতা ব্যান্ডটি গ্রহণ করেন তার সাথে
• সাবস্ট্রেট তাপমাত্রা শুরুতে এবং জমা শেষে
• বায়াস ভোল্টেজ এবং ডিউটি চক্র, যা আয়ন শক্তি এবং ফিল্ম ঘনত্ব সেট করে
• প্রতিটি ক্যাথোড বা বাষ্পীভবন নৌকার জন্য উৎস বর্তমান বা শক্তি
• প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস প্রবাহ এবং ফলস্বরূপ ফিল্ম স্টোইচিওমেট্রি
• জিগ ঘূর্ণন গতি এবং প্লাজমা মাধ্যমে পাস সংখ্যা
• জমা করার সময় বা জমে থাকা পুরুত্ব মনিটর দ্বারা রিপোর্ট করা হয়েছে

যেখানে সাধারণ ত্রুটিগুলি আসলে শুরু হয়

বেশিরভাগ আবরণ ত্রুটিগুলি সরঞ্জামের ত্রুটির পরিবর্তে প্রক্রিয়া ত্রুটি, এবং সেগুলি অনুমানযোগ্য জায়গায় উপস্থিত হয়।

• দরিদ্র আনুগত্য - অসম্পূর্ণ প্রাক-পরিষ্কার, একটি কম গরম লোড, বা একটি আয়ন এচ যা খুব ছোট বা খুব দুর্বল।
• পিনহোল এবং কণা — চেম্বারের ঢাল, নোংরা ফিক্সচার, বা এমন একটি লক্ষ্য যা পরিবর্তনের পরে শর্তযুক্ত নয় থেকে ফ্লেকিং উপাদান।
• ব্যাচের মধ্যে রঙের বিচ্যুতি — প্রবাহিত প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস প্রবাহ, লক্ষ্য ক্ষয়, বা ফিক্সচারের ঘনত্ব পরিবর্তনের কারণে ঘনত্বের তারতম্য।
• নন-ইউনিফর্ম বেধ — অসম লক্ষ্য পরিধান, ভুল উৎস থেকে সাবস্ট্রেট দূরত্ব, অথবা জিগস যা প্লাজমাকে ছায়া দেয়।
• হলুদ বা গাঢ় অ্যালুমিনিয়াম — বাষ্পীভবন চক্রে অবশিষ্ট অক্সিজেন এবং জলীয় বাষ্প, প্রায়শই লোড ঠান্ডা হওয়ার আগে নিঃসরণ করা থেকে।
• প্রতিক্রিয়াশীল sputtering লক্ষ্য বিষক্রিয়া — অত্যধিক প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস, যা লক্ষ্যবস্তুর উপর একটি যৌগিক স্তর তৈরি করে এবং জমার হারকে ভেঙে দেয়।

অংশের সাথে প্রক্রিয়ার মিল করা

দ part decides more of the recipe than the machine does. Three groups cover most production requests, and each one pushes the process in a different direction.

সরঞ্জাম, ছাঁচ, এবং পরিধান অংশ

কাটার সরঞ্জাম, ডাই তৈরি করা এবং ট্রান্সমিশন উপাদানগুলির জন্য 1-5 µm একটি শক্ত নাইট্রাইড বা কার্বন-ভিত্তিক ফিল্ম এবং একটি ধাতব বন্ধন তৈরি করার জন্য যথেষ্ট উচ্চ স্তরের তাপমাত্রা প্রয়োজন। সাইকেল দীর্ঘ চলে, আনুগত্য পরীক্ষা অ-আলোচনাযোগ্য, এবং একটি ডেডিকেটেড হার্ড-কোটিং প্ল্যাটফর্ম সাধারণত একটি আলংকারিক মেশিনকে অভিযোজিত করার চেয়ে বেশি লাভজনক।

স্বয়ংচালিত আলো এবং ছাঁটা

প্রতিফলক এবং ল্যাম্প হাউজিং একটি বেস কোট, একটি অ্যালুমিনিয়াম প্রতিফলিত স্তর, এবং একটি প্রতিরক্ষামূলক শীর্ষ কোট একত্রিত করে। বেস কোটটি ধাতুর মতোই গুরুত্বপূর্ণ, কারণ এটি ছাঁচনির্মাণের চিহ্নগুলিকে লুকিয়ে রাখে যা অন্যথায় একটি আয়না ফিনিশের মাধ্যমে দেখাবে। চাকা, ট্রিম স্ট্রিপ এবং ব্যাজ একই যুক্তি অনুসরণ করে, প্রধান গ্রহণযোগ্যতার মানদণ্ড হিসাবে রঙের সামঞ্জস্য সহ।

আলংকারিক ধাতু, স্যানিটারি গুদাম, এবং হার্ডওয়্যার

ফিটিংস, টেবিলওয়্যার, ঘড়ির ব্যান্ড এবং দরজার হার্ডওয়্যারগুলি রঙের পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা, পালিশ পৃষ্ঠ জুড়ে অভিন্নতা এবং অ্যান্টি-ফিঙ্গারপ্রিন্ট কর্মক্ষমতাতে ক্রমবর্ধমানভাবে বেঁচে থাকে বা মারা যায়। স্পুটারিং ধীর চক্র এবং আরও সতর্ক লক্ষ্য রক্ষণাবেক্ষণের খরচে, চাপ জমার চেয়ে রঙ এবং পুরুত্বের উপর কঠোর নিয়ন্ত্রণ দেয়।

চক্রের সময়, থ্রুপুট এবং প্রক্রিয়ার পিছনে খরচ

পাম্প-ডাউন এবং আউটগ্যাসিং একটি ব্যাচ চক্রের 30-50 শতাংশ গ্রাস করতে পারে এবং ডিপোজিশন প্রায়ই ঘড়ির অর্ধেকেরও কম সময় নেয়। সেই অনুপাত ব্যাখ্যা করে যে কেন জিগ ডিজাইন, লোডিং ঘনত্ব এবং পাম্পিং গতি সরানোর খরচ প্রতি অংশে জমা হারে প্রান্তিক লাভের চেয়ে বেশি। যখন চক্র সময় সীমাবদ্ধতা হয়ে যায়, তখন সৎ বিকল্পগুলি হল একটি বড় চেম্বার, একটি দ্বিতীয় ব্যাচের অবস্থান, অথবা একটি স্থিতিবিন্যাসে পরিচালনা করা যেতে পারে এমন অংশগুলির জন্য একটি অবিচ্ছিন্ন ইনলাইন সিস্টেম।

অপারেটিং খরচও লুকিয়ে থাকে কোন কাজের সময়সূচীতে: পাম্পের তেল পরিবর্তন, লক্ষ্য প্রতিস্থাপন এবং ব্যবহার, শিল্ড ক্লিনিং ডাউনটাইম এবং ডিফিউশন পাম্প দ্বারা টানা শক্তি যা শিফটের মধ্যে গরম থাকে। একটি যন্ত্র যা প্রযুক্তিগতভাবে সক্ষম কিন্তু সাপ্তাহিক যান্ত্রিক হস্তক্ষেপের দাবি রাখে তা খুব কমই প্রতি প্রলিপ্ত অংশে সর্বনিম্ন খরচ সরবরাহ করে। এটি আপনার নিজের অংশের মিশ্রণ এবং ব্যাচের আকারের বিরুদ্ধে সরঞ্জাম পরিমাপের জন্য ব্যবহারিক যুক্তি, যেমনটি এই নির্দেশিকায় কভার করা হয়েছে কিভাবে একটি PVD ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন চয়ন করুন , শিরোনাম জমার হার তুলনা করার আগে।

কি একটি স্থিতিশীল প্রক্রিয়া মত দেখায়

একটি পরিপক্ক আবরণ প্রক্রিয়া সর্বোত্তম অর্থে বিরক্তিকর। বেস প্রেসার একই সময়ে একই চিত্রে ফিরে আসে, রঙের রিডিং শিফট জুড়ে একটি সংকীর্ণ ব্যান্ডের মধ্যে থাকে এবং রক্ষণাবেক্ষণের বিরতিগুলি প্রতিক্রিয়াশীল না হয়ে অনুমানযোগ্য।

নতুন ক্ষমতা নির্দিষ্ট করার নির্মাতাদের জন্য, এর অর্থ হল ভিতরে লক্ষ্য সহ একটি চেম্বারের পরিবর্তে একটি নথিভুক্ত প্রক্রিয়া উইন্ডো কেনা৷ PVD ভ্যাকুয়াম আবরণ সিস্টেম একটি সম্পূর্ণ প্রযোজনা দিবসে তারা কতটা বারবার চাপ, পক্ষপাত এবং তাপমাত্রা ধরে রাখে তার বিচার করা উচিত, কারণ এই তিনটি সংখ্যাই ফিল্মটি আসলে মনে রাখে।