চৌম্বকীয় স্পটারিংয়ে টার্গেট বিষক্রিয়া প্রভাবিত করার কারণগুলি কী কী- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

চৌম্বকীয় স্পটারিংয়ে টার্গেট বিষক্রিয়া প্রভাবিত করার কারণগুলি কী কী

প্রথমত, লক্ষ্য ধাতব যৌগগুলি গঠন

প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিং প্রক্রিয়াটির মাধ্যমে ধাতব লক্ষ্য পৃষ্ঠ থেকে যৌগ গঠনের প্রক্রিয়াতে, যৌগটি কোথায় গঠিত হয়? যেহেতু প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের কণাগুলি লক্ষ্য পৃষ্ঠের পরমাণুর সাথে সংঘর্ষ হয় যৌগিক পরমাণু উত্পন্ন করার জন্য একটি রাসায়নিক বিক্রিয়া তৈরি করতে, সাধারণত একটি বহির্মুখী প্রতিক্রিয়া তৈরি করে, প্রতিক্রিয়া তাপ উত্পন্ন করে সেখানে বাহনের জন্য একটি উপায় থাকতে হবে, অন্যথায় রাসায়নিক প্রতিক্রিয়াটি এগিয়ে যেতে পারে না। শূন্যতার অধীনে গ্যাসের মধ্যে তাপ স্থানান্তর অসম্ভব, সুতরাং রাসায়নিক বিক্রিয়াগুলি অবশ্যই একটি শক্ত পৃষ্ঠের উপর স্থান নিতে হবে। প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিং পণ্যগুলি লক্ষ্য পৃষ্ঠতল, সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠতল এবং অন্যান্য কাঠামোগত পৃষ্ঠগুলিতে সঞ্চালিত হয়। সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে যৌগগুলি উত্পন্ন করা আমাদের লক্ষ্য। অন্যান্য পৃষ্ঠগুলিতে যৌগ তৈরি করা সম্পদের অপচয়। লক্ষ্য পৃষ্ঠে যৌগগুলি উত্পন্ন করা প্রাথমিকভাবে যৌগিক পরমাণুর উত্স ছিল, তবে পরে আরও যৌগিক পরমাণু সরবরাহের ক্ষেত্রে অবিচ্ছিন্ন হয়ে ওঠে।

দ্বিতীয়ত, টার্গেট বিষের প্রভাবশালী কারণগুলি

লক্ষ্য বিষকে প্রভাবিত করে এমন প্রধান কারণ হ'ল স্পটারিং গ্যাসের প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের অনুপাত। অতিরিক্ত প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের ফলে বিষক্রিয়া দেখা দেবে। প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিং প্রক্রিয়া চলাকালীন, লক্ষ্য পৃষ্ঠের স্পটারিং চ্যানেল অঞ্চলটি প্রতিক্রিয়া পণ্যটির প্রতিক্রিয়া পণ্য দ্বারা আচ্ছাদিত হয় ধাতব পৃষ্ঠকে পুনরায় প্রকাশের জন্য খোসা ছাড়ানো হয়। যৌগিক গঠনের হার যদি যৌগটি ছিনিয়ে নেওয়া হারের চেয়ে বেশি হয় তবে যৌগের দ্বারা আচ্ছাদিত অঞ্চলটি বৃদ্ধি পায়। একটি নির্দিষ্ট শক্তির ক্ষেত্রে, যৌগ গঠনে অংশ নেওয়া প্রতিক্রিয়া গ্যাসের পরিমাণ বৃদ্ধি পায় এবং যৌগিক গঠনের হার বৃদ্ধি পায়। যদি প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের পরিমাণ অত্যধিক বৃদ্ধি পায় তবে যৌগের দ্বারা আচ্ছাদিত অঞ্চলটি বৃদ্ধি পায়। যদি প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের প্রবাহের হার সময়মতো সামঞ্জস্য করা যায় না, তবে যৌগের আওতাধীন অঞ্চলে বৃদ্ধির হারকে দমন করা যায় না এবং স্পটারিং চ্যানেলটি আরও যৌগের দ্বারা আচ্ছাদিত করা হবে। যখন লক্ষ্যটি সম্পূর্ণরূপে বিষাক্ত হয় তখন স্পটারিং লক্ষ্যটি সম্পূর্ণ যৌগের দ্বারা আচ্ছাদিত থাকে।

তৃতীয়ত, টার্গেট বিষের ঘটনা

(1) ইতিবাচক আয়ন জমে: যখন লক্ষ্যটি বিষ প্রয়োগ করা হয়, তখন লক্ষ্য পৃষ্ঠে একটি অন্তরক ফিল্ম গঠিত হয়। যখন ইতিবাচক আয়নগুলি ক্যাথোড টার্গেট পৃষ্ঠে পৌঁছে যায়, অন্তরক স্তরটি ব্লক করার কারণে তারা সরাসরি ক্যাথোড লক্ষ্য পৃষ্ঠে প্রবেশ করতে পারে না তবে লক্ষ্য পৃষ্ঠে জমে থাকে, যা ঠান্ডা ক্ষেত্রের ঝুঁকিতে থাকে। আর্ক স্রাব - আর্ক স্ট্রাইক যা স্পটারিংকে অগ্রসর হতে বাধা দেয়।

(২) আনোড অদৃশ্য হয়ে যায়: যখন লক্ষ্যটি বিষাক্ত হয়, তখন একটি অন্তরক ফিল্মটি গ্রাউন্ডেড ভ্যাকুয়াম চেম্বারের দেয়ালেও জমা হয় এবং অ্যানোডে পৌঁছানো ইলেক্ট্রনগুলি অ্যানোডে প্রবেশ করতে পারে না, যার ফলে অ্যানোড নিখোঁজ হয়।

চতুর্থত, লক্ষ্য বিষক্রিয়াটির শারীরিক ব্যাখ্যা

(1) সাধারণভাবে, ধাতব যৌগগুলির মাধ্যমিক বৈদ্যুতিন নির্গমন সহগ ধাতুগুলির চেয়ে বেশি। লক্ষ্যটি বিষাক্ত হওয়ার পরে, লক্ষ্যটির পৃষ্ঠটি ধাতব যৌগগুলি দিয়ে আচ্ছাদিত। আয়নগুলি দ্বারা বোমাবর্ষণ করার পরে, প্রকাশিত মাধ্যমিক ইলেকট্রনের সংখ্যা বৃদ্ধি পায়, যা মহাকাশ দক্ষতা উন্নত করে। পরিবাহিতা, প্লাজমা প্রতিবন্ধকতা হ্রাস করা, ফলস্বরূপ কম স্পটারিং ভোল্টেজ হয়। সুতরাং, স্পটারিং হার হ্রাস করা হয়। সাধারণভাবে, চৌম্বকীয় স্পটারিংয়ের স্পটারিং ভোল্টেজ 400V এবং 600V এর মধ্যে থাকে। যখন লক্ষ্য বিষক্রিয়া ঘটে তখন স্পটারিং ভোল্টেজ উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস পাবে।

(২) ধাতব লক্ষ্য এবং যৌগিক লক্ষ্যমাত্রার স্পটারিং হার আলাদা। সাধারণত, ধাতব স্পটারিং সহগ যৌগের চেয়ে বেশি হয়, তাই লক্ষ্যকে বিষাক্ত করার পরে স্পটারিংয়ের হার কম থাকে।

(৩) প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিং গ্যাসের স্পটারিং দক্ষতা জড় গ্যাসের তুলনায় সহজাতভাবে কম, সুতরাং যখন প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের অনুপাত বৃদ্ধি পায়, সামগ্রিক স্পটারিংয়ের হার হ্রাস পায়।

পঞ্চম, বিষক্রিয়া লক্ষ্য করার সমাধান

(1) একটি মধ্যবর্তী ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ার সাপ্লাই বা রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ার সাপ্লাই ব্যবহার করুন।

(২) প্রতিক্রিয়া গ্যাসের প্রবাহের একটি বদ্ধ-লুপ নিয়ন্ত্রণ গৃহীত হয়।

(3) দ্বিগুণ লক্ষ্য ব্যবহার করে

(4) লেপ মোডের পরিবর্তন নিয়ন্ত্রণ করুন: আগে আবরণ , লক্ষ্যযুক্ত বিষের হিস্টেরিসিস এফেক্ট বক্ররেখা সংগ্রহ করুন, যাতে ভোজনের বায়ু প্রবাহটি লক্ষ্য বিষের সামনের দিকে নিয়ন্ত্রণ করা হয়, যাতে নিশ্চিত হয়ে যায় যে প্রক্রিয়াটি সর্বদা মোডে থাকে যাতে ডিপোজিশনের হার তীব্রভাবে হ্রাস পায় .3৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩৩ হেরে।