ইন-লাইন স্পটারিং সিস্টেমের বৈশিষ্ট্য

একটি "ইন-লাইন" পিভিডি স্পটারিং সিস্টেম এমন একটি যেখানে সাবস্ট্রেটগুলি তাদের পাতলা ফিল্মের আবরণ অর্জনের জন্য এক বা একাধিক স্পটার ক্যাথোডের নীচে রৈখিকভাবে পাস করে। সাধারণত এই গতির সুবিধার্থে সাবস্ট্রেটগুলি একটি ক্যারিয়ার বা প্যালেটে লোড করা হয় এবং কিছু ছোট সিস্টেম ব্যাচের রান প্রতি মাত্র একটি প্যালেট পরিচালনা করে। বৃহত্তর সিস্টেমে এন্ড স্টেশন প্যালেট হ্যান্ডলারগুলি ব্যবহারের মাধ্যমে একাধিক প্যালেটগুলি পরিচালনা করার ক্ষমতা থাকতে পারে যা পরিবহন সাবসিস্টেমের মধ্য দিয়ে যাওয়া অব্যাহত কাফেলাটিতে একের পর এক প্যালেট প্রেরণ করে এবং গ্রহণ করে, পূর্ববর্তীটির লেজের পিছনে প্রতিটি নিম্নলিখিতগুলির টিপ।

সাধারণ, এবং সর্বনিম্ন জটিল, কনফিগারেশনটি হ'ল প্যালেটগুলি এবং ক্যাথোডগুলি শীর্ষে ক্যাথোডগুলির সাথে অনুভূমিক এবং নীচে সাবস্ট্রেটগুলি একটি স্পটার ডাউন ওরিয়েন্টেশনে রয়েছে। এই মোডে, মাধ্যাকর্ষণ সাধারণত কেবলমাত্র প্যালেটগুলিতে সাবস্ট্রেটগুলি ধারণ করে এবং কেবল প্যালেটগুলি পরিবহন ব্যবস্থায় ধারণ করে, যা কেবল ভ্যাকুয়াম চেম্বারের মধ্য দিয়ে পাশের রেলগুলির সাথে চলমান শৃঙ্খলা হতে পারে।

সেই অনুভূমিক বিন্যাসটি নীচে ক্যাথোডগুলির সাথেও করা যেতে পারে এবং একটি স্পটার আপ ওরিয়েন্টেশনের জন্য শীর্ষে সাবস্ট্রেটগুলিও করা যেতে পারে, তবে স্পষ্টতই এটি সরঞ্জামটিকে কিছুটা জটিল করে তোলে, এখন সাবস্ট্রেটগুলি রাখার যান্ত্রিক উপায়ের প্রয়োজন হয় যাতে তারা পড়ে না। একক পার্শ্বযুক্ত আবরণের জন্য, এটি খুব সাধারণ কনফিগারেশন নয়, তবে এটি কখনও কখনও ডাবল পার্শ্বযুক্ত আবরণের জন্য করা হয়, প্যালেটগুলির উপরে এবং নীচে উভয় ক্যাথোড সহ। এই ক্ষেত্রে প্যালেটগুলির সাবস্ট্রেটগুলি ধরে রাখার জন্য উপযুক্ত খোলার রয়েছে যাতে নীচের দিকগুলি একই সময়ে নীচের ক্যাথোড থেকে স্পটার আপ লেপ পেতে পারে উপরের দিকটি উপরের ক্যাথোড থেকে স্পটার ডাউন লেপ পেতে পারে।

তবে অনুভূমিক কণাগুলির ক্ষেত্রে একটি অসুবিধা রয়েছে। স্পটার ডাউন মোডে, চেম্বারের অভ্যন্তরে উত্পন্ন কণাগুলি সহজেই স্তরগুলিতে অবতরণ করতে পারে এবং ফিল্মে এম্বেড করা যায় - এবং এটি ঘটতে বাধ্য। ডিপোজিশন সিস্টেমগুলি কেবল স্তরগুলিতে ব্যতীত অন্য জায়গাগুলি পাওয়ার সাথে কিছুটা স্ব -দূষিত হয়। সবচেয়ে বড় রুটিন রক্ষণাবেক্ষণের সমস্যাটি জিনিস পরিষ্কার রাখা। স্পটার আপ ওরিয়েন্টেশনে, এই কণাগুলি স্তরগুলিতে পায় না, তবে লক্ষ্যগুলিতে অবতরণ করতে পারে এবং পুনরায় স্প্রেড করতে পারে। কাগজ অ্যালুমিনিয়াম পাতলা ছায়াছবি ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন

সুতরাং আরও ভাল পার্টিকুলেট পরিবেশের জন্য, পাশের স্পটারিংয়ের জন্য উল্লম্ব ওরিয়েন্টেশন বিকল্পও রয়েছে। ক্যাথোড এবং প্যালেট উভয়ই উল্লম্ব এবং জবানবন্দি পার্শ্বীয়। টুলিং এবং ট্রান্সপোর্ট সিস্টেমটি সাবস্ট্রেটগুলি প্যালেটে রাখতে এবং সেই ওরিয়েন্টেশনে প্যালেটটি পরিচালনা করার জন্য যথেষ্ট জটিল হয়ে ওঠে তবে কণাগুলি ক্যাথোড বা সাবস্ট্রেটের মধ্যে পড়ে যাওয়ার সম্ভাবনা খুব কম।

এই কনফিগারেশনের যে কোনও একটিতে, বিভিন্ন ধরণের ক্যাথোডের সমস্ত ব্যবহার করা যেতে পারে, ম্যাগনেট্রনগুলি সাধারণত জনপ্রিয়, প্ল্যানার বা ইনসেট হয়। এবং পাওয়ার অ্যাপ্লিকেশনটির জন্য কাঙ্ক্ষিত হিসাবে আরএফ, এমএফএসি, ডিসি, বা পালসড ডিসি এর মতো বিভিন্ন ধরণের যে কোনও হতে পারে। স্পটার এচ, তাপ বা আয়ন উত্সগুলির মতো al চ্ছিক পর্যায়গুলিও সমন্বিত করা যেতে পারে এবং ধাতব/পরিবাহী আবরণ, ডাইলেট্রিক, অপটিক্যাল লেপ বা অন্যান্য স্পটার অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য উপকরণ এবং নিয়ন্ত্রণের সম্পূর্ণ অ্যারে উপলব্ধ।

যদিও অন্যান্য ধরণের ব্যবহার করা সম্ভব, তবে এই জাতীয় সিস্টেমে ক্যাথোডগুলি আয়তক্ষেত্রাকার। একটি নিয়ম হিসাবে, আয়তক্ষেত্রাকার ক্যাথোডের দীর্ঘ অক্ষটি চেম্বার জুড়ে এবং সংক্ষিপ্ত অক্ষটি প্যালেট ভ্রমণের দিকের পাশাপাশি রয়েছে। এবং, যদিও ইচ্ছাকৃতভাবে নন ইউনিফর্ম লেপের জন্য ক্যাথোডগুলি কনফিগার করা সম্ভব, তবে বেশিরভাগ ব্যবহারকারী তাদের সাবস্ট্রেটগুলি সমানভাবে প্রলিপ্ত হতে চান। একটি ইন-লাইন সিস্টেমে যেমন আমরা আলোচনা করছি, প্যালেট ভ্রমণের দিকের অভিন্নতা ক্যাথোড শক্তি এবং চেম্বারের চাপ/গ্যাসের মিশ্রণের স্থায়িত্বের উপর নির্ভর করে, পরিবহণের গতির স্থায়িত্ব এবং অবশেষে ডিপোজিশন জোনের সামনে এবং পিছনে স্টার্ট/স্টপ পজিশনগুলির উপর নির্ভর করে।

একটি একক প্যালেট, বা লেজ অবিচ্ছিন্ন রান করার জন্য একটি টিপের এবং শেষ প্যালেটের জন্য, স্ক্যান শুরু করার আগে কোনও প্রাক-স্প্রেট স্ট্যাবিলাইজেশন সময়কালে অপরিকল্পিত জমার সময় অকারণে এড়াতে শুরু করার অবস্থানটি (পাশাপাশি স্টপ পজিশন) অবশ্যই লক্ষ্যমাত্রার অধীনে সরাসরি হতে হবে। স্ক্যানের দিকনির্দেশের যে কোনও শুরু, স্টপ বা বিপরীতগুলি প্রকৃত ডিপোজিশন জোনের বাইরে হওয়া উচিত এবং স্ক্যানটি অবিচ্ছিন্ন জোনের মাধ্যমে স্থির এবং নিরবচ্ছিন্ন হওয়া উচিত। স্ক্যানগুলি উভয় দিকের একক পাস হতে পারে, বা ঘন আবরণগুলি তৈরি করতে পিছনে পিছনে থাকতে পারে।

তিন এবং চারটি টার্গেট সিস্টেমগুলি বেশ সাধারণ, এবং প্রয়োজনীয় হিসাবে অতিরিক্ত উত্সগুলি সামঞ্জস্য করার জন্য চেম্বারের দৈর্ঘ্য বাড়ানো যেতে পারে। পর্যাপ্ত বিদ্যুৎ সরবরাহের সাথে, একাধিক লক্ষ্য একই সাথে একক পাসে ব্যবহৃত হতে পারে। ক্যাথোডগুলিতে বিভিন্ন টার্গেট উপকরণ সহ, একাধিক স্তরগুলি এইভাবে একটি একক পাসে জমা দেওয়া যেতে পারে, বা সদৃশ লক্ষ্যগুলির সাথে, ঘন আবরণগুলি একটি একক পাসে অর্জন করা যেতে পারে।

প্যালেট স্ক্যানের দিকের লম্ব, অন্যান্য অক্ষের ইউনিফর্মিটি ক্যাথোডের কার্যকারিতা দ্বারা বিশেষত প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিং, সম্ভাব্য গ্যাস বিতরণ সমস্যার জন্য নির্ধারিত হয়। ম্যাগনেট্রনগুলির সাথে, চৌম্বকগুলির স্থান নির্ধারণ এবং শক্তি উভয়ই লক্ষ্য ব্যবহার এবং সহজাত অভিন্নতা উভয়কেই প্রভাবিত করতে পারে এবং সাধারণত এই দুটি দিকের মধ্যে একটি বাণিজ্য বন্ধ থাকে। লক্ষ্যটির দৈর্ঘ্যের কেন্দ্রে, উভয় অভিন্নতা এবং ব্যবহার উভয়ই সাধারণত বেশ ভাল, তবে প্রান্তে, যেখানে "রেস ট্র্যাক" ক্ষয়ের পথটি ঘুরে দাঁড়ায়, ডিপোজিটের হার এবং ফলস্বরূপ ফিল্মের বেধটি হ্রাস পাবে যদি না চুম্বককে ক্ষতিপূরণ দেওয়ার জন্য সামঞ্জস্য করা হয়, তবে যদি এটি ক্ষতির দিকে আরও গভীরতর হয় এবং এটি লক্ষ্যমাত্রা হ্রাস পায় তবে লক্ষ্যমাত্রা হ্রাস করে (এটি লক্ষ্যমাত্রা হ্রাস করে (এই লক্ষ্যটি হ্রাস করে (এই লক্ষ্যটি হ্রাস করে। প্লেট)।

বৃহত্তর মাল্টি প্যালেট সিস্টেমগুলিতে লেজ প্রসেসিংয়ের টিপটি আপনার স্তরগুলিতে আরও বেশি এবং ঝাল এবং অন্যান্য চেম্বারের অংশগুলিতে কম পাওয়ার ক্ষেত্রে লক্ষ্য উপাদান ব্যবহারের জন্যও বেশ উপকারী। একটি একক প্যালেট সিস্টেমে, সীসা প্যালেটটি একমাত্র প্যালেট, এবং এটি ডিপোজিশন জোনটি ছেড়ে চলে যাচ্ছে, এটি অবশ্যই ট্রেলিং এজ - লেজ - সমস্ত পথ অবধি স্ক্যান করা চালিয়ে যেতে হবে, লক্ষ্যটি এখনও পুরো সময়টি জ্বলছে, যা কার্যকরভাবে কিছু লক্ষ্য উপাদান নষ্ট করে।

লেজের পদ্ধতির টিপসে, একটি লেজ এবং পরবর্তী টিপের মধ্যে কেবল একটি সংক্ষিপ্ত ব্যবধান রয়েছে এবং তারপরে উপাদানগুলি আবারও একটি "লাইভ" প্যালেটটিতে সাবস্ট্রেটগুলিতে পূর্ণ হয়ে যাচ্ছে, একটি নতুন প্যালেট প্রবেশের সাথে সাথে প্যালেটটি ডিপোজিশন জোন থেকে বেরিয়ে আসে এমন অনেকগুলি ভেরিয়েবল রয়েছে যা এই সংখ্যার উপর প্রভাব ফেলতে পারে, তবে লেজের কাছে টিপের নিয়ম হিসাবে উপাদান ব্যবহারের ক্ষেত্রে প্রায় দ্বিগুণ দক্ষ হতে পারে।

বহুমুখীতার উচ্চ প্রান্তে, পরিশীলিত অটোমেশন নিয়ন্ত্রণের সাথে মিলিত প্রক্রিয়া বিভাগগুলিকে বিচ্ছিন্ন করার জন্য স্লিট ভালভের সংযোজন, বিভিন্ন গ্যাস পরিবেশ (চাপ এবং গ্যাসের মিশ্রণ) এর সাথে একই সাথে বিভিন্ন বিভাগ পরিচালনা করা সম্ভব করে তুলতে পারে, সম্ভবত এক বিভাগে একটি প্যালেটের উপর একটি স্তরকে সরাসরি স্পটারিং করে একটি পৃথক স্তরকে পৃথক করে একটি পৃথক স্তরকে স্পটারিং করে। ইন-লাইন স্পটার সিস্টেমগুলি বিস্তৃত প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তা এবং সাবস্ট্রেট আকারগুলি সমন্বিত করতে কাস্টমাইজ করা যেতে পারে