চৌম্বকীয় স্পটারিং ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন কী এবং এটি কীভাবে কাজ করে?
চৌম্বকীয় স্পটারিং ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনটি একটি অত্যাধুনিক প্রযুক্তি যা বিস্তৃত স্তরগুলিতে পাতলা-ফিল্ম জমা করার জন্য ব্যবহৃত হয়। তবে এটি ঠিক কী, এবং এটি কীভাবে কাজ করে?
এর মূলে, চৌম্বকীয় স্পটারিং ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন একটি উচ্চ-ভ্যাকুয়াম চেম্বার যা একটি লক্ষ্য উপাদান, সাধারণত একটি ধাতব বা একটি মিশ্রণ এবং একটি স্তর যা লেপযুক্ত হতে হয়। প্রক্রিয়াটিতে উচ্চ-শক্তি আয়নগুলি দ্বারা লক্ষ্য উপাদানগুলির বোমাবর্ষণ জড়িত, যা এর পৃষ্ঠ থেকে পরমাণুগুলি অপসারণ করে এবং একটি পাতলা ফিল্ম গঠন করে সাবস্ট্রেটে জমা দেয়।
চৌম্বকীয় স্পটারিং ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনের অন্যতম মূল উপাদান হ'ল চৌম্বকীয়, যা এক ধরণের প্লাজমা উত্স যা চেম্বারে একটি উচ্চ-আয়নযুক্ত প্লাজমা উত্পন্ন করে। চৌম্বকটি একটি ক্যাথোড (লক্ষ্য উপাদান), একটি অ্যানোড এবং চৌম্বকীয় ক্ষেত্র নিয়ে গঠিত। চৌম্বকীয় ক্ষেত্রটি প্লাজমা সীমাবদ্ধ করে এবং চেম্বারে গ্যাস অণুগুলির আয়নীকরণকে আরও দক্ষ স্পটারিংয়ে বাড়িয়ে তোলে।
প্রক্রিয়াটি চেম্বারটি একটি উচ্চ ভ্যাকুয়ামে পাম্প করে সাধারণত 10^-6 টোরের দিকে শুরু হয়। লক্ষ্য উপাদানগুলি তখন আয়নগুলি দ্বারা বোমা ফেলা হয়, যা পরমাণুগুলি ছুঁড়ে দেয় এবং কণার একটি প্রবাহ তৈরি করে যা স্তরটিতে জমা হয়। আয়ন ফ্লাক্স, লক্ষ্য ভোল্টেজ এবং চেম্বারের চাপ সামঞ্জস্য করে ডিপোজিটেশন রেট এবং ফিল্মের বৈশিষ্ট্যগুলি নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে।
চৌম্বকীয় স্পটারিং ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনের অন্যতম সুবিধা হ'ল এর বহুমুখিতা। এটি ধাতু, অ্যালো, সিরামিকস এবং সেমিকন্ডাক্টর সহ বিস্তৃত উপকরণ জমা করতে ব্যবহার করা যেতে পারে। এটি মাল্টিলেয়ার্ড লেপগুলি তৈরি করতেও ব্যবহার করা যেতে পারে, এতে অনন্য বৈশিষ্ট্য যেমন উন্নত কঠোরতা, পরিধান প্রতিরোধ বা অপটিক্যাল বৈশিষ্ট্য থাকতে পারে।
চৌম্বকীয় স্পটারিং ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনের আরেকটি সুবিধা হ'ল এর উচ্চ স্তরের অভিন্নতা। চেম্বারের চৌম্বকীয় ক্ষেত্রটি লক্ষ্যটির পৃষ্ঠ জুড়ে সমানভাবে আয়ন প্রবাহকে ফিল্মের আরও অভিন্ন জমার হার এবং বেধে বিতরণ করে।
উপসংহারে, চৌম্বকীয় স্পটারিং ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনটি একটি অত্যন্ত পরিশীলিত প্রযুক্তি যা মহাকাশ, ইলেকট্রনিক্স এবং অপটিক্সের মতো শিল্পগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। বিস্তৃত উপকরণ জমা দেওয়ার, বহুগুণযুক্ত আবরণ তৈরি করার এবং অত্যন্ত অভিন্ন ছায়াছবি তৈরি করার ক্ষমতা এটি গবেষণা এবং বিকাশের পাশাপাশি বৃহত আকারের উত্পাদনের জন্য একটি অপরিহার্য সরঞ্জাম হিসাবে তৈরি করে।
মাল্টি-আর্ক আয়ন এবং স্পটারিং লেপগুলি বিস্তৃত রঙে জমা দেওয়া যেতে পারে। জবানবন্দি প্রক্রিয়া চলাকালীন চেম্বারে প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসগুলি প্রবর্তন করে রঙের বেজার আরও বাড়ানো যেতে পারে। আলংকারিক আবরণগুলির জন্য বহুল ব্যবহৃত প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসগুলি হ'ল নাইট্রোজেন, অক্সিজেন, আর্গন বা এসিটিলিন। লেপের ধাতব থেকে গ্যাস অনুপাত এবং লেপের কাঠামোর উপর নির্ভর করে আলংকারিক আবরণগুলি একটি নির্দিষ্ট রঙের পরিসরে উত্পাদিত হয়। এই উভয় কারণই জমা দেওয়ার পরামিতিগুলি পরিবর্তন করে পরিবর্তন করা যেতে পারে।
জবানবন্দির আগে, অংশগুলি পরিষ্কার করা হয় যাতে পৃষ্ঠটি ধুলো বা রাসায়নিক অমেধ্য থেকে মুক্ত থাকে। লেপ প্রক্রিয়া শুরু হয়ে গেলে, সমস্ত প্রাসঙ্গিক প্রক্রিয়া পরামিতিগুলি একটি স্বয়ংক্রিয় কম্পিউটার নিয়ন্ত্রণ সিস্টেম দ্বারা অবিচ্ছিন্নভাবে পর্যবেক্ষণ এবং নিয়ন্ত্রিত হয়।