পিভিডি লেপগুলিতে প্ল্যানার ম্যাগনেট্রনগুলি কী কী?

প্ল্যানার চৌম্বকটি সংক্ষেপে, ক্যাথোডের পিছনে স্থায়ী চৌম্বক অ্যারে যুক্ত করার সাথে একটি ক্লাসিক "ডায়োড" মোড স্পটারিং ক্যাথোড। এই চৌম্বকটি অ্যারেটি এমনভাবে সাজানো হয়েছে যাতে চৌম্বকীয় ক্ষেত্রটি একটি বদ্ধ পথে বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের কাছে স্বাভাবিক থাকে এবং একটি সীমানা "টানেল" গঠন করে যা ইলেক্ট্রনগুলিকে আটকে দেয় মেডিকেল ইনস্ট্রুমেন্ট লেপ মেশিন লক্ষ্য পৃষ্ঠের কাছাকাছি। এই ইলেক্ট্রন ট্র্যাপিং গ্যাস আয়ন গঠনের দক্ষতার উন্নতি করে এবং স্রাবের প্লাজমাকে সীমাবদ্ধ করে, নিম্ন গ্যাসের চাপে উচ্চতর স্রোতকে মঞ্জুরি দেয় এবং পিভিডি (শারীরিক বাষ্প ডিপোজিশন) আবরণগুলির জন্য উচ্চতর স্পটার ডিপোজিশন হার অর্জন করে।

বেশ কয়েকটি পৃথক চৌম্বকীয় স্পটারিং ক্যাথোড/টার্গেট আকার ব্যবহার করা হয়েছে তবে সাধারণটি বিজ্ঞপ্তি এবং আয়তক্ষেত্রাকার। আয়তক্ষেত্রাকার ম্যাগনেট্রনগুলি প্রায়শই লাইন চৌম্বকীয় স্পটারিং সিস্টেমগুলিতে বৃহত্তর স্কেলে পাওয়া যায় যেখানে সাবস্ট্রেটগুলি কনভেয়র বেল্ট বা ক্যারিয়ারের কিছু ফর্মের লক্ষ্যগুলি রৈখিকভাবে স্ক্যান করে। বিজ্ঞপ্তি ম্যাগনেট্রনগুলি সাধারণত ছোট স্কেল কনফোকল ব্যাচ সিস্টেম বা ক্লাস্টার সরঞ্জামগুলিতে একক ওয়েফার স্টেশনগুলিতে পাওয়া যায়।

যদিও আরও জটিল নিদর্শনগুলি করা যেতে পারে, ক্যাথোডগুলি - কার্যত সমস্ত বৃত্তাকার এবং আয়তক্ষেত্রাকার সহ - একটি সাধারণ ঘন ঘন চৌম্বক প্যাটার্ন রয়েছে যার সাথে কেন্দ্রটি একটি মেরু এবং পরিধি বিপরীতটি রয়েছে। বৃত্তাকার চৌম্বকটির জন্য, এটি কেন্দ্রে তুলনামূলকভাবে ছোট বৃত্তাকার চৌম্বক এবং এর মধ্যে একটি ফাঁক দিয়ে বাইরের চারপাশে বিপরীত মেরুকরণের একটি অ্যানুলার রিং চৌম্বক হবে।

আয়তক্ষেত্রাকার চৌম্বকটির জন্য কেন্দ্রটি সাধারণত দীর্ঘ অক্ষের নীচে একটি বার (তবে পূর্ণ দৈর্ঘ্যের চেয়ে কম) বিপরীত মেরুকরণের একটি আয়তক্ষেত্রাকার "বেড়া" সহ এর চারপাশে একটি ফাঁক দিয়ে এর চারপাশে একটি ফাঁক দিয়ে। ফাঁকটি যেখানে প্লাজমা থাকবে, বৃত্তাকার চৌম্বকীয় একটি বৃত্তাকার রিং বা আয়তক্ষেত্রাকার একটি দীর্ঘায়িত "রেস ট্র্যাক"। মনে রাখবেন, বিশেষত বৃহত্তর ক্যাথোডগুলিতে, চুম্বকগুলি একটি শক্ত টুকরোটির চেয়ে বেশ কয়েকটি পৃথক বিভাগ হতে পারে।
যেহেতু টার্গেট ক্যাথোড লেপ উপাদানগুলি পিভিডি এবং উপাদানগুলির স্পটারগুলিতে ব্যবহার করা হয়, আপনি লক্ষ্য মুখে এই বৈশিষ্ট্যযুক্ত ক্ষয়ের নিদর্শনগুলি দেখতে সক্ষম হবেন। প্রকৃতপক্ষে, কোনও চৌম্বক সমস্যা যেমন অনুপস্থিত, বিভ্রান্তিকর বা উল্টো দিকে, ক্ষয়ের পথটি অস্বাভাবিক হবে এবং এটি আপনার চৌম্বকীয় স্পটারিং ক্যাথোডের মধ্যে এই জাতীয় সমস্যার একটি ভাল ডায়াগনস্টিক ইঙ্গিত হতে পারে।

পৃথক চৌম্বকগুলির মেরু ওরিয়েন্টেশনটি অবশ্যই এমন হতে হবে যে একটি মেরু কেন্দ্রে গঠিত হয় এবং ঘেরের বিপরীত মেরু। এটি করার বেশ কয়েকটি উপায় রয়েছে। সাধারণটি হ'ল চৌম্বকগুলির উত্তর / দক্ষিণ মেরুগুলি লক্ষ্যমাত্রার সমতলে লম্ব, লক্ষ্যটির দিকে একটি মেরু এবং অন্য প্রান্তটি - "ফ্রি" প্রান্ত / বিপরীত মেরু - চৌম্বকীয়ভাবে চৌম্বকীয় (সাধারণত লৌহ) উপাদান দিয়ে তৈরি একটি মেরু প্লেট দ্বারা চৌম্বকীয়ভাবে ব্রিজযুক্ত।
সম্পূর্ণ চৌম্বকীয় সার্কিটটি এইভাবে একটি চৌম্বকের একটি উন্মুক্ত উত্তর মেরু (বা পৃথক চৌম্বকগুলির একটি চেইন যদি এক টুকরো না হয়) এর বিপরীত দক্ষিণ মেরু দিয়ে চৌম্বকীয় উপাদান দ্বারা অন্য উত্তর মেরুতে, যার দক্ষিণ মেরু তখন খোলা থাকে। এই দুটি চৌম্বকীয়ভাবে বিপরীত উন্মুক্ত প্রান্তের দিকে লক্ষ্য এবং ফলস্বরূপ চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের খিলানগুলি লক্ষ্যমাত্রার পৃষ্ঠের উপরে বৈদ্যুতিন ট্র্যাপিং, প্লাজমা ঘনীভূত টানেল গঠনের জন্য
নোট করুন যে পিভিডি চৌম্বকীয় চৌম্বকীয় প্রান্তিককরণের সাথে কাজ করে - কেন্দ্রটি উত্তর হতে পারে এবং ঘেরটি দক্ষিণ হতে পারে বা বিপরীতে হতে পারে। যাইহোক, প্ল্যানার ম্যাগনেট্রন স্পটারিং সিস্টেমগুলিতে, একে অপরের সাথে মোটামুটি ঘনিষ্ঠতায় একাধিক ক্যাথোড রয়েছে এবং আপনি লক্ষ্যগুলির মধ্যে গঠিত স্ট্রে উত্তর / দক্ষিণ ক্ষেত্রগুলি চান না।
এই এন/এস চৌম্বকীয় চৌম্বকীয় ক্ষেত্রগুলি কেবল লক্ষ্যগুলির মুখগুলিতে থাকা উচিত, সেখানে কাঙ্ক্ষিত চৌম্বকীয় টানেলগুলি তৈরি করে। এই কারণে, একটি সিস্টেমের সমস্ত ক্যাথোড একইভাবে একত্রিত হয়েছে তা নিশ্চিত করা সম্পূর্ণরূপে বাঞ্ছনীয়, হয় তাদের ঘেরের সমস্ত উত্তর বা সমস্ত দক্ষিণে তাদের ঘেরে। এবং একাধিক স্পটার সিস্টেম সহ সুবিধার জন্য, এগুলি একইভাবে তৈরি করা পছন্দসই যাতে ক্যাথোডগুলি চৌম্বকীয় প্রান্তিককরণ সম্পর্কে চিন্তা না করে সিস্টেমগুলির মধ্যে নিরাপদে বিনিময় করা যায়