চৌম্বকীয় স্পটারিং প্রযুক্তি সম্পর্কিত গবেষণা- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

1.1 ভোল্টেজ এবং শক্তি

যদি প্রয়োগ করা ভোল্টেজটি চাপের সীমার মধ্যে পরিবর্তন করা হয় যেখানে গ্যাস আয়নিত হতে পারে তবে সার্কিটের প্লাজমার প্রতিবন্ধকতা সেই অনুযায়ী পরিবর্তিত হবে, যার ফলে গ্যাসের স্রোত পরিবর্তন হয়। গ্যাসে স্রোত পরিবর্তন করা আরও কম বা কম আয়ন তৈরি করতে পারে যা স্পটারিং হার নিয়ন্ত্রণ করতে লক্ষ্যকে আঘাত করে।

সাধারণভাবে: ভোল্টেজ বাড়ানো আয়নীকরণের হার বাড়ায়। এটি বর্তমানকে বাড়িয়ে তুলবে, সুতরাং এটি প্রতিবন্ধকতা হ্রাস করবে। যখন ভোল্টেজ বাড়ানো হয়, প্রতিবন্ধকতা হ্রাস বর্তমানকে ব্যাপকভাবে বাড়িয়ে তুলবে, অর্থাৎ শক্তিটি ব্যাপকভাবে বৃদ্ধি পাবে। যদি গ্যাসের চাপ ধ্রুবক হয় এবং স্পটারিং উত্সের নীচে সাবস্ট্রেটটি যে গতিতে সরে যায় তা স্থির থাকে, তবে সাবস্ট্রেটে জমা হওয়া উপাদানের পরিমাণ সার্কিটের জন্য প্রয়োগ শক্তি দ্বারা নির্ধারিত হয়। ভোনারডেন প্রলিপ্ত পণ্যগুলিতে ব্যবহৃত পরিসরে, বিদ্যুৎ বৃদ্ধি এবং স্পটার হার বৃদ্ধির মধ্যে একটি লিনিয়ার সম্পর্ক রয়েছে।

1.2 গ্যাস পরিবেশ

ভ্যাকুয়াম সিস্টেম এবং প্রক্রিয়া গ্যাস সিস্টেম একসাথে গ্যাসের পরিবেশ নিয়ন্ত্রণ করে।

প্রথমত, একটি ভ্যাকুয়াম পাম্প চেম্বারের শরীরকে একটি উচ্চ ভ্যাকুয়ামে টেনে তোলে (প্রায় 10-টর)। প্রক্রিয়া গ্যাসটি তখন প্রক্রিয়া গ্যাস সিস্টেম দ্বারা চার্জ করা হয় (চাপ এবং প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ নিয়ন্ত্রকদের সহ) গ্যাসের চাপকে প্রায় 2x10-3 টরাতে হ্রাস করতে। একই ফিল্মের যথাযথ গুণমান নিশ্চিত করতে, প্রক্রিয়া গ্যাস অবশ্যই 99.995% খাঁটি হতে হবে। প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিংয়ে, প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসে অল্প পরিমাণে জড় গ্যাস (যেমন, আর্গন) মিশ্রিত করা স্পটারিংয়ের হার বাড়িয়ে তুলতে পারে।

1.3 গ্যাস চাপ

একটি নির্দিষ্ট পয়েন্টে গ্যাসের চাপ হ্রাস করা আয়নগুলির গড় মুক্ত পথ বাড়ায়, যার ফলে আরও আয়নগুলি কণাগুলিকে বোমা ফেলার জন্য পর্যাপ্ত শক্তি দিয়ে ক্যাথোডকে আঘাত করতে দেয়, অর্থাত্ স্পটারিংয়ের হার বাড়িয়ে তোলে। এই বিন্দু ছাড়িয়ে, সংঘর্ষে অংশ নেওয়া খুব কম অণুগুলির কারণে আয়নীকরণের পরিমাণ হ্রাস পায়, ফলে স্পটারিং হার হ্রাস পায়। যদি গ্যাসের চাপ খুব কম হয় তবে প্লাজমা নিভে যায় এবং স্পটারিং স্টপগুলি। গ্যাসের চাপ বাড়ানো আয়নীকরণের হারকে বাড়িয়ে তোলে, তবে স্পটারড পরমাণুর গড় মুক্ত পথও হ্রাস করে, যা স্পটারিং হারকেও হ্রাস করে। গ্যাসের চাপের পরিসীমা যার উপরে সর্বাধিক জমার হার পাওয়া যায় তা খুব সংকীর্ণ। যদি প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিং সম্পাদন করা হয়, যেহেতু এটি অবিচ্ছিন্নভাবে গ্রাস করা হয়, অভিন্ন জমা দেওয়ার হার বজায় রাখতে নতুন প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিংকে উপযুক্ত হারে পুনরায় পূরণ করতে হবে।

1.4 সংক্রমণ গতি

ক্যাথোডের নীচে কাচের স্তরটির চলাচল একটি ড্রাইভের মাধ্যমে পরিচালিত হয়। লো ড্রাইভের গতি গ্লাসকে ক্যাথোড পরিসরে আরও দীর্ঘতর করতে দেয়, যা ঘন স্তরগুলি জমা করতে দেয়। তবে, ফিল্ম স্তরটির অভিন্নতা নিশ্চিত করার জন্য, সংক্রমণ গতি অবশ্যই স্থির রাখতে হবে।

লেপ অঞ্চলে সাধারণ সংক্রমণ গতি প্রতি মিনিটে 0 থেকে 600 ইঞ্চি (প্রায় 0 থেকে 15.24 মিটার) পর্যন্ত থাকে। সাধারণ অপারেটিং রেঞ্জটি প্রতি মিনিটে 90 থেকে 400 ইঞ্চি (প্রায় 2.286 থেকে 10.16 মিটার) এর মধ্যে থাকে, লেপ উপাদান, শক্তি, ক্যাথোডের সংখ্যা এবং লেপের ধরণের উপর নির্ভর করে।

1.5 দূরত্ব এবং গতি এবং আনুগত্য

সর্বাধিক জমার হার এবং উন্নত ফিল্মের আঠালোতার জন্য, আভা স্রাব নিজেই ক্ষতি না করে সাবস্ট্রেটটি যতটা সম্ভব ক্যাথোডের কাছাকাছি স্থাপন করা উচিত। স্পটারযুক্ত কণা এবং গ্যাস অণুগুলির (এবং আয়নগুলি) গড় মুক্ত পথগুলিও একটি ভূমিকা পালন করে। সাবস্ট্রেট এবং ক্যাথোডের মধ্যে দূরত্ব বাড়ার সাথে সাথে সংঘর্ষের সম্ভাবনা বৃদ্ধি পায়, যাতে সাবস্ট্রেটে পৌঁছানোর জন্য স্পটারযুক্ত কণাগুলির ক্ষমতা হ্রাস পায়। অতএব, সর্বাধিক জমার হার এবং সর্বোত্তম আনুগত্যের জন্য, সাবস্ট্রেটটি যথাসম্ভব ক্যাথোডের কাছাকাছি স্থাপন করতে হবে।

2 সিস্টেম পরামিতি

প্রক্রিয়াটি অনেক পরামিতি দ্বারা প্রভাবিত হয়। তাদের মধ্যে কিছু প্রক্রিয়া অপারেশন চলাকালীন পরিবর্তন এবং নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে; অন্যরা, যদিও স্থির হলেও সাধারণত প্রক্রিয়া অপারেশনের আগে একটি নির্দিষ্ট পরিসরের মধ্যে নিয়ন্ত্রণ করা যায়। দুটি গুরুত্বপূর্ণ স্থির পরামিতি হ'ল: লক্ষ্য কাঠামো এবং চৌম্বকীয় ক্ষেত্র।

2.1 লক্ষ্য কাঠামো

প্রতিটি পৃথক লক্ষ্যটির নিজস্ব অভ্যন্তরীণ কাঠামো এবং কণা ওরিয়েন্টেশন থাকে। অভ্যন্তরীণ কাঠামোর পার্থক্যের কারণে, দুটি লক্ষ্য যা অভিন্ন বলে মনে হয় তা বিভিন্ন ধরণের স্পটারিং হার প্রদর্শন করতে পারে। এটি বিশেষত লেপ অপারেশনগুলিতে উল্লেখ করা উচিত যেখানে নতুন বা বিভিন্ন লক্ষ্য ব্যবহৃত হয়। যদি সমস্ত টার্গেট ব্লকের প্রক্রিয়াজাতকরণের সময় একই ধরণের কাঠামো থাকে, বিদ্যুৎ সরবরাহ সামঞ্জস্য করা, প্রয়োজন অনুসারে বিদ্যুৎ বৃদ্ধি বা হ্রাস করা, এর জন্য ক্ষতিপূরণ দিতে পারে। লক্ষ্যগুলির একটি সেটের মধ্যে, বিভিন্ন কণা কাঠামোর কারণে বিভিন্ন স্পটারিং হারও উত্পাদিত হয়। মেশিনিং প্রক্রিয়াটি লক্ষ্যটির অভ্যন্তরীণ কাঠামোর মধ্যে পার্থক্য সৃষ্টি করতে পারে, সুতরাং একই অ্যালো রচনার লক্ষ্যগুলিও স্পটারিং হারের মধ্যে পার্থক্য থাকবে।

তেমনিভাবে, স্ফটিক কাঠামো, শস্য কাঠামো, কঠোরতা, চাপ এবং লক্ষ্য ব্লকের অমেধ্যের মতো পরামিতিগুলি স্পটারিং হারকে প্রভাবিত করতে পারে, যার ফলে পণ্যের উপর স্ট্রাইক জাতীয় ত্রুটি হতে পারে। লেপ চলাকালীন এটির জন্যও মনোযোগ প্রয়োজন। তবে এই পরিস্থিতি কেবল লক্ষ্য প্রতিস্থাপনের মাধ্যমে সমাধান করা যেতে পারে।

লক্ষ্য হ্রাস অঞ্চল নিজেই তুলনামূলকভাবে কম স্পটারিং হারও ঘটায়। এই সময়ে, একটি ভাল ফিল্ম স্তর পেতে, শক্তি বা সংক্রমণ গতি অবশ্যই পুনরায় সামঞ্জস্য করতে হবে। যেহেতু গতি কোনও পণ্যের জন্য গুরুত্বপূর্ণ, তাই মান এবং উপযুক্ত সমন্বয় হ'ল শক্তি বাড়ানো।

2.2 চৌম্বকীয় ক্ষেত্র

মাধ্যমিক ইলেকট্রনগুলিকে ফাঁদে ফেলতে ব্যবহৃত চৌম্বকীয় ক্ষেত্রটি অবশ্যই লক্ষ্য পৃষ্ঠ জুড়ে সামঞ্জস্যপূর্ণ হতে হবে এবং চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের শক্তি উপযুক্ত হওয়া উচিত। অ-ইউনিফর্ম চৌম্বকীয় ক্ষেত্রগুলি অ-ইউনিফর্ম স্তর তৈরি করে। যদি চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের শক্তি উপযুক্ত না হয় (যেমন খুব কম), তবে এমনকি একই চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের শক্তিও ধীর ফিল্ম ডিপোজিটের হার এবং বোল্ট হেডে সম্ভাব্য স্পটারিংয়ের ফলস্বরূপ। এটি ঝিল্লিটি দূষিত করতে পারে। যদি চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের শক্তি খুব বেশি হয় তবে শুরুতে জমার হার খুব বেশি হতে পারে তবে এচড অঞ্চলের কারণে এই হারটি দ্রুত খুব নিম্ন স্তরে নেমে যাবে। তেমনিভাবে, এই খাঁজকাটা অঞ্চলটিও কম টার্গেট ব্যবহারের হারের ফলস্বরূপ।

2.3 পরিবর্তনশীল পরামিতি

স্পটারিং প্রক্রিয়া চলাকালীন, প্রক্রিয়াটির গতিশীল নিয়ন্ত্রণ এই পরামিতিগুলি পরিবর্তন করে সম্পাদন করা যেতে পারে। এই পরিবর্তনশীল পরামিতিগুলির মধ্যে রয়েছে: শক্তি, গতি, গ্যাসের ধরণ এবং চাপ।

3.1 শক্তি

প্রতিটি ক্যাথোডের নিজস্ব শক্তি উত্স রয়েছে। ক্যাথোড এবং সিস্টেম ডিজাইনের আকারের উপর নির্ভর করে শক্তি 0 থেকে 150kW (নামমাত্র) পর্যন্ত পরিবর্তিত হতে পারে। বিদ্যুৎ সরবরাহ একটি ধ্রুবক বর্তমান উত্স। পাওয়ার কন্ট্রোল মোডে, ভোল্টেজ পর্যবেক্ষণ করার সময় শক্তি স্থির করা হয় এবং আউটপুট কারেন্ট পরিবর্তন করে ধ্রুবক শক্তি বজায় থাকে। বর্তমান নিয়ন্ত্রণ মোডে, আউটপুট কারেন্টটি স্থির এবং পর্যবেক্ষণ করা হয়, যখন ভোল্টেজটি সামঞ্জস্য করা যায়। বিদ্যুৎ যত বেশি প্রয়োগ করা হয় তত বেশি জবানবন্দির হার।

3.2 গতি

আরেকটি পরিবর্তনশীল গতি। একক-সমাপ্ত কোটারগুলির জন্য, লেপ জোনের সংক্রমণ গতি প্রতি মিনিটে 0 থেকে 600 ইঞ্চি (প্রায় 0 থেকে 15.24 মিটার) নির্বাচন করা যেতে পারে। ডাবল-এন্ড কোটারগুলির জন্য, লেপ জোনের সংক্রমণ গতি প্রতি মিনিটে 0 থেকে 200 ইঞ্চি (প্রায় 0 থেকে 5.08 মিটার) নির্বাচন করা যেতে পারে। প্রদত্ত স্পটারিং হারে, কম ড্রাইভের গতি জমা হওয়া ঘন ছায়াছবি নির্দেশ করে।

3.3 গ্যাস

শেষ পরিবর্তনশীল হ'ল গ্যাস। তিনটি গ্যাসের মধ্যে দুটি প্রধান গ্যাস এবং সহায়ক গ্যাস হিসাবে ব্যবহারের জন্য নির্বাচন করা যেতে পারে। তাদের মধ্যে, যে কোনও দু'জনের অনুপাতও সামঞ্জস্য করা যায়। গ্যাস চাপ 1 ~ 5x 10-3 টর মধ্যে নিয়ন্ত্রণ করা যায়।

3.4 ক্যাথোড/সাবস্ট্রেটের মধ্যে সম্পর্ক

বাঁকানো কাচের আবরণ মেশিনে, আরও একটি প্যারামিটার যা সামঞ্জস্য করা যায় তা হ'ল ক্যাথোড এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে দূরত্ব। ফ্ল্যাট গ্লাস কোটারগুলিতে কোনও সামঞ্জস্যযোগ্য ক্যাথোড নেই।

তাপীয় বাষ্পীভবন এবং চৌম্বকীয় স্পটারিং লেপ মেশিন