ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনে মাঝারি ফ্রিকোয়েন্সি চৌম্বকীয় স্পটারিংয়ের ধরণগুলি কী কী

চৌম্বকীয় স্পটারিং জন্য ভ্যাকুয়াম কোটার অনেক প্রকার অন্তর্ভুক্ত। প্রত্যেকের বিভিন্ন কাজের নীতি এবং অ্যাপ্লিকেশন অবজেক্ট রয়েছে। তবে একটি বিষয় মিল রয়েছে: চৌম্বকীয় ক্ষেত্র এবং ইলেক্ট্রনগুলির মধ্যে মিথস্ক্রিয়াটি লক্ষ্য পৃষ্ঠের চারপাশে বৈদ্যুতিনগুলিকে সর্পিল করে তোলে, যার ফলে আয়নগুলি উত্পাদন করতে আরগন গ্যাসকে আঘাত করার ইলেক্ট্রনগুলির সম্ভাবনা বাড়িয়ে তোলে। উত্পন্ন আয়নগুলি লক্ষ্য উপাদানটি ছড়িয়ে দেওয়ার জন্য বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের ক্রিয়াকলাপের অধীনে লক্ষ্য পৃষ্ঠের সাথে সংঘর্ষ করে। সাম্প্রতিক দশকের বিকাশের মধ্যে, প্রত্যেকে ধীরে ধীরে স্থায়ী চৌম্বকগুলি গ্রহণ করেছে এবং খুব কমই কয়েল চুম্বক ব্যবহার করেছে।
লক্ষ্য উত্সটি ভারসাম্যপূর্ণ এবং ভারসাম্যহীন প্রকারে বিভক্ত। ভারসাম্যযুক্ত লক্ষ্য উত্সের একটি অভিন্ন আবরণ রয়েছে এবং ভারসাম্যহীন লক্ষ্য উত্সের লেপ ফিল্ম এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে একটি শক্তিশালী বন্ধন শক্তি রয়েছে। ভারসাম্যযুক্ত লক্ষ্য উত্সগুলি বেশিরভাগ সেমিকন্ডাক্টর অপটিক্যাল ফিল্মগুলির জন্য ব্যবহৃত হয় এবং ভারসাম্যহীন উত্সগুলি বেশিরভাগ আলংকারিক ছায়াছবি পরার জন্য ব্যবহৃত হয়।
ভারসাম্য বা ভারসাম্যহীন নির্বিশেষে, যদি চৌম্বকটি স্থির থাকে তবে এর চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের বৈশিষ্ট্যগুলি নির্ধারণ করে যে সাধারণ লক্ষ্য ব্যবহারের হার 30%এর চেয়ে কম। লক্ষ্য উপাদানের ব্যবহারের হার বাড়ানোর জন্য, একটি ঘোরানো চৌম্বকীয় ক্ষেত্র ব্যবহার করা যেতে পারে। তবে, একটি ঘোরানো চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের জন্য একটি ঘোরানো প্রক্রিয়া প্রয়োজন এবং স্পটারিংয়ের হার অবশ্যই হ্রাস করতে হবে। ঘোরানো চৌম্বকীয় ক্ষেত্রগুলি বেশিরভাগ বড় বা ব্যয়বহুল লক্ষ্যগুলির জন্য ব্যবহৃত হয়। যেমন সেমিকন্ডাক্টর ফিল্ম স্পটারিং। ছোট সরঞ্জাম এবং সাধারণ শিল্প সরঞ্জামগুলির জন্য, চৌম্বকীয় ক্ষেত্র সহ একটি স্থির লক্ষ্য উত্স প্রায়শই ব্যবহৃত হয়।

চৌম্বকীয় লক্ষ্য উত্স সহ ধাতু এবং মিশ্রণগুলি ছড়িয়ে দেওয়া সহজ এবং এটি জ্বলানো এবং স্পটার করা সহজ। এটি কারণ লক্ষ্য (ক্যাথোড), প্লাজমা এবং স্প্ল্যাশযুক্ত অংশগুলির ভ্যাকুয়াম চেম্বার একটি লুপ তৈরি করতে পারে। তবে যদি সিরামিকের মতো অন্তরকটি ছড়িয়ে পড়ে তবে সার্কিটটি ভেঙে যায়। সুতরাং লোকেরা উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ার সরবরাহ ব্যবহার করে এবং লুপে শক্তিশালী ক্যাপাসিটার যুক্ত করে। এইভাবে, লক্ষ্য উপাদান অন্তরক সার্কিটের ক্যাপাসিটার হয়ে যায়। তবে উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি চৌম্বকীয় স্পটারিং পাওয়ার সাপ্লাই ব্যয়বহুল, স্পটারিংয়ের হার খুব ছোট এবং গ্রাউন্ডিং প্রযুক্তিটি খুব জটিল, সুতরাং এটি একটি বৃহত আকারে গ্রহণ করা কঠিন। এই সমস্যাটি সমাধান করার জন্য, চৌম্বকীয় প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিং উদ্ভাবিত হয়েছিল। এটি হ'ল একটি ধাতব লক্ষ্য ব্যবহৃত হয় এবং নাইট্রোজেন বা অক্সিজেনের মতো আর্গন এবং প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস যুক্ত করা হয়। যখন ধাতব লক্ষ্য উপাদান শক্তি রূপান্তরকরণের কারণে অংশটি হিট করে, তখন এটি প্রতিক্রিয়া গ্যাসের সাথে নাইট্রাইড বা অক্সাইড গঠনের সাথে একত্রিত হয়।
চৌম্বকীয় প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিং ইনসুলেটরগুলি সহজ বলে মনে হয় তবে আসল অপারেশনটি কঠিন। মূল সমস্যাটি হ'ল প্রতিক্রিয়াটি কেবল অংশের পৃষ্ঠের উপরেই ঘটে না, তবে এনোডে, ভ্যাকুয়াম চেম্বারের পৃষ্ঠ এবং লক্ষ্য উত্সের পৃষ্ঠেও ঘটে। এটি জার্মানিতে লেবোল্ড দ্বারা উদ্ভাবিত টুইন টার্গেট সোর্স প্রযুক্তিটি এই সমস্যাটিকে ভালভাবে সমাধান করে আগুন নিভে যাওয়া, লক্ষ্য উত্স এবং ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠ ইত্যাদি। নীতিটি হ'ল এক জোড়া লক্ষ্য উত্স হ'ল অ্যানোড পৃষ্ঠের জারণ বা নাইট্রিডেশন দূর করতে পারস্পরিক অ্যানোড এবং ক্যাথোড।
সমস্ত উত্সের জন্য কুলিং প্রয়োজনীয় (চৌম্বক, মাল্টি-আর্ক, আয়ন), কারণ শক্তির একটি বড় অংশ উত্তাপে রূপান্তরিত হয়। যদি কোনও শীতল বা অপর্যাপ্ত শীতল না হয় তবে এই তাপটি লক্ষ্য উত্সের তাপমাত্রাকে 1000 ডিগ্রিরও বেশি তৈরি করবে এবং পুরো লক্ষ্য উত্সটি গলে যাবে।
একটি চৌম্বকীয় ডিভাইস প্রায়শই খুব ব্যয়বহুল, তবে লক্ষ্য উত্সকে উপেক্ষা না করে ভ্যাকুয়াম পাম্প, এমএফসি এবং ফিল্মের বেধ পরিমাপের মতো অন্যান্য সরঞ্জামগুলিতে অর্থ ব্যয় করা সহজ। এমনকি কোনও ভাল টার্গেট উত্স ছাড়াই সেরা চৌম্বকীয় স্পটারিং সরঞ্জামগুলি চোখ শেষ না করে ড্রাগন আঁকার মতো