চৌম্বকীয় স্পটারিং লেপ মেশিনের মধ্যে অপারেটিং চাপ কীভাবে সাবস্ট্রেটগুলিতে প্রয়োগ হওয়া আবরণের গুণমান এবং অভিন্নতার উপর প্রভাব ফেলে?

অপারেটিং চাপ সাবস্ট্রেটে স্পটারযুক্ত উপাদানের জমার হার নিয়ন্ত্রণে সরাসরি ভূমিকা রাখে। কম চাপে, গড় মুক্ত পথ - দূরত্বটি অন্য কণার সাথে সংঘর্ষের আগে একটি স্পটারড পরমাণু ভ্রমণ করে - আরও দীর্ঘতর হয়। এর অর্থ হ'ল স্পটারযুক্ত কণাগুলি আরও অবাধে এবং সরাসরি লক্ষ্য থেকে সাবস্ট্রেটে ভ্রমণ করতে পারে, জবানবন্দির প্রক্রিয়াটির দক্ষতা বৃদ্ধি করে। এটি একটি দ্রুত জমার হার ফলাফল। যাইহোক, চাপ বাড়ার সাথে সাথে স্পটারযুক্ত কণা এবং গ্যাসের অণুগুলির মধ্যে সংঘর্ষের ফ্রিকোয়েন্সিও বৃদ্ধি পায়। এই অতিরিক্ত সংঘর্ষগুলির ফলে স্পটারড পরমাণু শক্তি হারাতে বা তাদের গতিপথ পরিবর্তন করে, জবানবন্দি প্রক্রিয়াটির প্রত্যক্ষতা হ্রাস করে এবং জবানবন্দির হারকে ধীর করে দেয়। চাপের সাথে জবানবন্দি হারের এই প্রকরণটি নির্মাতাদের আবরণগুলির বেধ নিয়ন্ত্রণ করতে গুরুত্বপূর্ণ, তারা বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে তা নিশ্চিত করে।

লেপের অভিন্নতা অপারেটিং চাপ দ্বারা ভারীভাবে প্রভাবিত হয়। নিম্ন চাপে, গ্যাস অণু সংঘর্ষের হ্রাস সংখ্যা স্পটারযুক্ত কণাগুলিকে আরও দিকনির্দেশক শক্তি দিয়ে ভ্রমণ করতে দেয়, ফলে স্তর পৃষ্ঠের উপর এমনকি এবং ধারাবাহিক জমা হয়। বিপরীতে, উচ্চ চাপে, স্পটারযুক্ত কণাগুলি গ্যাস অণুগুলির সাথে আরও সংঘর্ষের মধ্য দিয়ে যায়, যা তাদের সাবস্ট্রেটে পৌঁছানোর আগে একাধিক দিকে ছড়িয়ে দিতে পারে। এই ছড়িয়ে ছিটিয়ে থাকা কম ইউনিফর্ম লেপের দিকে নিয়ে যায়, পৃষ্ঠ জুড়ে বেধের বিভিন্নতা সহ। উচ্চ-চাপের শর্তগুলি অ-ইউনিফর্ম ফিল্মগুলি গঠনেরও দিকে পরিচালিত করতে পারে, যা উচ্চতর নির্ভুলতার জন্য যেমন সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস বা অপটিক্যাল আবরণগুলির জন্য প্রয়োজনীয় অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে লেপের কার্যকারিতা প্রভাবিত করতে পারে।

প্লাজমা ঘনত্ব এবং স্থিতিশীলতা স্পটারিং চেম্বারে অপারেটিং চাপের সাথে ঘনিষ্ঠভাবে আবদ্ধ। খুব কম চাপে, একটি স্থিতিশীল প্লাজমা বজায় রাখা চ্যালেঞ্জিং হতে পারে, কারণ গ্যাসের আয়নীকরণের হার হ্রাস পায়, স্পটারিং প্রক্রিয়াটিকে ভুল এবং অবিশ্বাস্য করে তোলে। প্লাজমাতে অস্থিরতা বেমানান স্পটারিংয়ের দিকে পরিচালিত করতে পারে, স্পটারযুক্ত কণা এবং অসম ফিল্ম গঠনের শক্তির বিভিন্নতা সহ। উচ্চতর চাপগুলি অবশ্য আয়নিত হতে পারে এমন গ্যাস অণুগুলির সংখ্যা বাড়িয়ে প্লাজমা স্থিতিশীল করে। আরও স্থিতিশীল প্লাজমা আরও নিয়ন্ত্রিত স্পটারিং নিশ্চিত করে, ফিল্ম জমা দেওয়ার ক্ষেত্রে আরও ভাল ধারাবাহিকতার জন্য অনুমতি দেয়। তবে অতিরিক্ত উচ্চ চাপের ফলে প্লাজমা অত্যধিক ঘন হয়ে উঠতে পারে, যার ফলে গ্যাস-পর্বের প্রতিক্রিয়া বৃদ্ধি এবং জমা হওয়া ফিল্মের মানের সম্ভাব্য অবক্ষয় বৃদ্ধি পায়।

জমা হওয়া আবরণের ফিল্মের ঘনত্ব এবং মাইক্রোস্ট্রাকচার চাপের জন্য অত্যন্ত সংবেদনশীল। কম চাপে, স্পটারযুক্ত কণাগুলি উচ্চতর শক্তি সহ সাবস্ট্রেটে উপস্থিত হয়, যা তাদের অবতরণের পরে আরও সহজেই ছড়িয়ে দিতে দেয়। এই বর্ধিত প্রসারণটি একটি ঘনত্বের দিকে নিয়ে যায়, সাবস্ট্রেটের সাথে আরও ভাল আনুগত্য সহ আরও কমপ্যাক্ট আবরণ। একটি ডেনসার লেপ সাধারণত উচ্চতর যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্যগুলি প্রদর্শন করে যেমন উচ্চতর কঠোরতা, আরও ভাল পরিধান প্রতিরোধ এবং উন্নত আনুগত্য শক্তি। বিপরীতে, উচ্চতর চাপগুলি গ্যাস অণুগুলির সাথে আরও ঘন ঘন সংঘর্ষের কারণে আগত স্পটারযুক্ত কণার শক্তি হ্রাস করে। এর ফলে কম ঘন, আরও ছিদ্রযুক্ত আবরণ ঘটে যা ফিল্মের যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্যগুলিকে নেতিবাচকভাবে প্রভাবিত করতে পারে যেমন নিম্ন আঠালো শক্তি এবং হ্রাস স্থায়িত্ব। আরও ছিদ্রযুক্ত আবরণের ফলে রুক্ষতা বৃদ্ধি পেতে পারে, যা নির্দিষ্ট অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে অনাকাঙ্ক্ষিত হতে পারে যার জন্য মসৃণ বা অপটিক্যাল পরিষ্কার আবরণ প্রয়োজন।

এর রুক্ষতা এবং শস্য কাঠামো সহ লেপের রূপচর্চা অপারেটিং চাপ দ্বারা দৃ strongly ়ভাবে প্রভাবিত হয়। নিম্ন চাপে, স্পটারযুক্ত পরমাণু বা অণুগুলি উচ্চতর শক্তির সাথে জমা হয়, যার ফলে ছোট শস্য এবং একটি মসৃণ, আরও অভিন্ন ফিল্ম হয়। এটি উচ্চ-পারফরম্যান্স আবরণ অর্জনের জন্য উপকারী, যেমন অপটিক্যাল ফিল্ম বা পাতলা-ফিল্ম সৌর কোষগুলিতে ব্যবহৃত হয়, যেখানে অভিন্নতা এবং মসৃণতা গুরুত্বপূর্ণ। উচ্চ চাপে, সংঘর্ষের বর্ধিত সংখ্যার ফলে বৃহত্তর শস্য এবং একটি রাউগার পৃষ্ঠের রূপচর্চা হতে পারে। এটি বর্ধিত পৃষ্ঠের রুক্ষতার সাথে আবরণগুলির দিকে পরিচালিত করতে পারে, যা কিছু অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে যেমন অনুঘটক বা আলংকারিক আবরণগুলিতে গ্রহণযোগ্য বা এমনকি পছন্দসই হতে পারে তবে যথাযথ অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে সমস্যা তৈরি করতে পারে যেখানে মসৃণতা একটি অগ্রাধিকার।

চৌম্বকীয় স্পটারিং লেপ মেশিন