1। প্রতিরোধের বাষ্পীভবন ধাতুপট্টাবৃত: প্রতিরোধের বাষ্পীভবন উত্সটি স্বর্ণ, রৌপ্য, দস্তা সালফাইড, ম্যাগনেসিয়াম ফ্লোরাইড, ক্রোমিয়াম ট্রাইঅক্সাইড ইত্যাদির মতো কম গলনাঙ্কের উপকরণগুলি বাষ্পীভূত করতে ব্যবহৃত হয়।
2। বৈদ্যুতিন মরীচি বাষ্পীভবন ধাতুপট্টাবৃত : ফিল্মের উপাদানগুলি বাষ্পীভূত এবং ইলেক্ট্রন বিম হিটিং দ্বারা বাষ্পীভূত হওয়ার পরে, এটি একটি ফিল্ম গঠনের জন্য সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে ঘনীভূত হয়, যা ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন প্রযুক্তির একটি গুরুত্বপূর্ণ হিটিং পদ্ধতি।
এই জাতীয় বিভিন্ন ধরণের ডিভাইস রয়েছে। পাতলা ফিল্ম প্রযুক্তির বিস্তৃত প্রয়োগের সাথে, কেবল ঝিল্লির ধরণের প্রয়োজনীয়তাগুলিই বিভিন্ন নয়, তবে ঝিল্লির মানের জন্য প্রয়োজনীয়তাগুলি আরও কঠোর।
প্রতিরোধের বাষ্পীভবন আর কিছু ধাতু এবং নন-ধাতুগুলির বাষ্পীভবনের প্রয়োজনগুলি পূরণ করতে পারে না। বৈদ্যুতিন মরীচি তাপ উত্স প্রতিরোধের তাপ উত্সের তুলনায় অনেক বড় শক্তি ঘনত্ব অর্জন করতে পারে এবং মানটি 104-109W/সেমি 2 এ পৌঁছতে পারে, যাতে ফিল্মটি 3000-6000C এ উত্তপ্ত হতে পারে।
এটি টুংস্টেন, মলিবডেনাম, জার্মানিয়াম, এসআইও 2, এআই 2 ও 3 ইত্যাদি বাষ্পীভবন ধাতু এবং অ-ধাতব পদার্থ যেমন বাষ্পীভবনের জন্য আরও ভাল তাপ উত্স সরবরাহ করে, তদ্ব্যতীত, যেহেতু জল-কুলডে বাষ্পীভবন করা উপাদানগুলি একটি জল-কুলযোগ্যতে স্থাপন করা হয়, ধারক উপাদানগুলির মধ্যে বাষ্পীভবন এবং ফিল্মের উপাদানগুলির মধ্যবর্তী প্রতিক্রিয়া হয় এবং এ থেকে বোঝা যায়।
তদ্ব্যতীত, তাপকে সরাসরি ফিল্মের উপাদানের পৃষ্ঠে যুক্ত করা যেতে পারে, তাই তাপীয় দক্ষতা বেশি, এবং তাপ পরিবাহিতা এবং তাপ বিকিরণের ক্ষতি কম।
3। আর্ক হিটিং বাষ্পীভবন ধাতুপট্টাবৃত: বৈদ্যুতিন মরীচি গরম করার পদ্ধতির অনুরূপ একটি হিটিং পদ্ধতি হ'ল আর্ক স্রাব হিটিং পদ্ধতি। এটিতে প্রতিরোধের গরম করার উপকরণ বা ক্রুসিবল উপকরণগুলির দূষণ এড়ানোর বৈশিষ্ট্যও রয়েছে এবং উচ্চ হিটিং তাপমাত্রার বৈশিষ্ট্য রয়েছে, বিশেষত রিফ্র্যাক্টরি ধাতু, গ্রাফাইট ইত্যাদির বাষ্পীভবনের জন্য উপযুক্ত উচ্চ গলনাঙ্ক এবং নির্দিষ্ট পরিবাহিতা সহ।
একই সময়ে, এই পদ্ধতিতে ব্যবহৃত সরঞ্জামগুলি ইলেক্ট্রন বিম হিটিং ডিভাইসের চেয়ে সহজ, সুতরাং এটি তুলনামূলকভাবে সস্তা বাষ্পীভবন ডিভাইস।
4। লেজার বিম বাষ্পীভবন প্লেটিং: পাতলা ছায়াছবি গঠনের জন্য উচ্চ শক্তি ঘনত্বের পালস লেজার ব্যবহারের পদ্ধতিটিকে সাধারণত লেজার বাষ্পীভবন বলে অভিহিত করা হয়
5। উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি ইন্ডাকশন হিটিং বাষ্পীভবন প্লেটিং: বাষ্পীভবন তাপমাত্রায় ধাতু গরম করার জন্য ইন্ডাকশন হিটিংয়ের নীতিটি ব্যবহার করুন।
ফিল্মের উপাদানযুক্ত ক্রুশিবলটি সর্পিল কয়েলটির কেন্দ্রে স্থাপন করা হয় এবং একটি উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি কারেন্ট কয়েলটির মধ্য দিয়ে যায়, যাতে ধাতব ফিল্মের উপাদানগুলি বাষ্পীভূত না হওয়া পর্যন্ত নিজেকে উত্তাপের জন্য বর্তমান উত্পন্ন করতে পারে।
ইন্ডাকশন হিটিং বাষ্পীভবন উত্সের বৈশিষ্ট্য:
1। উচ্চ বাষ্পীভবন হার
2। বাষ্পীভবন উত্সের তাপমাত্রা অভিন্ন এবং স্থিতিশীল এবং অ্যালুমিনিয়াম ড্রপ স্প্ল্যাশ ঘটনা উত্পাদন করা সহজ নয়
3। বাষ্পীভবন উত্সটি একবারে চার্জ করা হয়, কোনও তারের খাওয়ানোর ব্যবস্থা প্রয়োজন হয় না, তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ তুলনামূলকভাবে সহজ, এবং অপারেশনটি সহজ
4। ঝিল্লি উপাদানের বিশুদ্ধতার জন্য প্রয়োজনীয়তাগুলি কিছুটা প্রশস্ত।